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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 交流互助 » 磁控濺射
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| 查看: 1969 | 回復(fù): 10 | ||||
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HM苗子新蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射
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請問有用磁控濺射儀器的同學(xué)嗎？我在直流濺射CrN時，功率不穩(wěn)定，腔內(nèi)燈光總閃爍，是什么原因？歡迎指導(dǎo)交流～ 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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HM苗子
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- 專業(yè): 工程熱物理與能源利用
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Cr靶材，工作氣體Ar，反應(yīng)氣體N2，工作氣壓0.5Pa，謝謝您，之前把工作氣壓調(diào)到5Pa，表示功率的電流電壓有示數(shù)但很不穩(wěn)定，現(xiàn)在不管怎么調(diào)，電流電壓示數(shù)一直為0 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
7樓2017-03-05 14:33:53
qin1992
新蟲 (小有名氣)
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2樓2017-03-01 16:48:53
HM苗子
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3樓2017-03-01 19:57:49
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
HM苗子: 金幣+4, 謝謝您 2017-03-05 14:35:06
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
HM苗子: 金幣+4, 謝謝您 2017-03-05 14:35:06
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靶材是金屬Cr靶 還是CrN，另外用射頻電源會好些 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2017-03-02 07:24:12
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