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HM苗子新蟲(chóng) (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射
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請(qǐng)問(wèn)有用磁控濺射儀器的同學(xué)嗎？我在直流濺射CrN時(shí)，功率不穩(wěn)定，腔內(nèi)燈光總閃爍，是什么原因？歡迎指導(dǎo)交流～ 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
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2樓2017-03-01 16:48:53
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3樓2017-03-01 19:57:49
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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
HM苗子: 金幣+4, 謝謝您 2017-03-05 14:35:06
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靶材是金屬Cr靶 還是CrN，另外用射頻電源會(huì)好些 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
4樓2017-03-02 07:24:12
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5樓2017-03-04 22:28:46
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6樓2017-03-05 12:06:55
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Cr靶材，工作氣體Ar，反應(yīng)氣體N2，工作氣壓0.5Pa，謝謝您，之前把工作氣壓調(diào)到5Pa，表示功率的電流電壓有示數(shù)但很不穩(wěn)定，現(xiàn)在不管怎么調(diào)，電流電壓示數(shù)一直為0 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
7樓2017-03-05 14:33:53
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8樓2017-03-05 14:34:28
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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
HM苗子: 金幣+3, 謝謝您 2017-03-06 13:07:20
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
HM苗子: 金幣+3, 謝謝您 2017-03-06 13:07:20
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直流電源反應(yīng)濺射CrN，本來(lái)就不穩(wěn)定，應(yīng)該是靶中毒了，還是建議直接換射頻電源。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
9樓2017-03-05 19:20:16
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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
HM苗子: 金幣+3, 謝謝您，我用砂紙打磨后再試試 2017-03-07 14:07:22
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
HM苗子: 金幣+3, 謝謝您，我用砂紙打磨后再試試 2017-03-07 14:07:22
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表面有雜質(zhì)吧，直流要求導(dǎo)電性好，如果表面有導(dǎo)電性差的，就容易不穩(wěn)定 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
10樓2017-03-07 00:25:53
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