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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 交流互助 » 磁控濺射
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HM苗子新蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射
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請問有用磁控濺射儀器的同學嗎？我在直流濺射CrN時，功率不穩(wěn)定，腔內(nèi)燈光總閃爍，是什么原因？歡迎指導交流～ 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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HM苗子
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3樓2017-03-01 19:57:49
qin1992
新蟲 (小有名氣)
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2樓2017-03-01 16:48:53
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
HM苗子: 金幣+4, 謝謝您 2017-03-05 14:35:06
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靶材是金屬Cr靶 還是CrN，另外用射頻電源會好些 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2017-03-02 07:24:12
強哥哥哥
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5樓2017-03-04 22:28:46
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