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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術交流 » 光刻顯影不干凈什么原因？
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強哥哥哥新蟲 (著名寫手)
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光刻顯影不干凈什么原因？ 已有4人參與
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用的是AZ-5214E反轉光刻膠，但是在顯影的時候有膠殘余，甚至一直在顯影夜液中放兩個小時，最后還是不干凈。在PZT,PIMNT單晶上面甩的膠，表面不是很平整。改怎么改進實驗？ @yswyx 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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我們用過這種膠，不過根據(jù)經驗判斷，1你應該用的是有機物顯影液而非氫氧化鈉之類的溶液；2你的顯影容器如果是塑料或聚四氟之類材料的話，顯影有殘渣的現(xiàn)象會很明顯；3，浸泡式顯影比噴淋式顯影，殘渣現(xiàn)象更為明顯 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
8樓2016-10-20 20:40:26
fdnh
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強哥哥哥2樓2016-10-19 15:49:17
強哥哥哥
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3樓2016-10-19 18:16:29
exciting73 
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4樓2016-10-19 22:31:37
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