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倦書徐行銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
求助各位鎳鉻合金靶材的濺射參數(shù) 已有1人參與
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| 各位蟲友，小弟要在氮化硅上濺射鎳鉻合金做電阻，靶材質(zhì)量比是Ni：Cr=50:50。要濺射的厚度是100納米。請問濺射機的參數(shù)應該如何設置？時間，功率，壓強都該如何選擇？ |
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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壓強0.5Pa左右，功率和時間估計要自己摸了，最大功率和靶材面積有關(guān)。具體參數(shù)樓主可以找篇文章參考下。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2016-03-03 07:12:05
倦書徐行
銀蟲 (小有名氣)
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3樓2016-03-04 10:49:46
4樓2016-03-04 19:26:48
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