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倦書(shū)徐行銀蟲(chóng) (小有名氣)
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[交流]
求助各位鎳鉻合金靶材的濺射參數(shù) 已有1人參與
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| 各位蟲(chóng)友,小弟要在氮化硅上濺射鎳鉻合金做電阻,靶材質(zhì)量比是Ni:Cr=50:50。要濺射的厚度是100納米。請(qǐng)問(wèn)濺射機(jī)的參數(shù)應(yīng)該如何設(shè)置?時(shí)間,功率,壓強(qiáng)都該如何選擇? |
銀蟲(chóng) (小有名氣)
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