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dirkjiayou木蟲 (小有名氣)
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單位想做濺射靶材，我也是外行，大家能不能幫忙推薦一下做靶材用到的設(shè)備，定重謝！ 已有2人參與
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| 要看是做什么種類的靶材了。做金屬的靶材，需要真空熔煉爐，或者真空燒結(jié)爐或氫氣氣氛燒結(jié)爐進(jìn)行制坯；然后可能需要鍛錘和軋機(jī)進(jìn)行壓力成形加工；接著需要真空退火爐進(jìn)行靶材熱處理；然后需要超聲無損檢測設(shè)備進(jìn)行檢測；需要掃描電鏡、ICP 、激光粒度儀、費(fèi)氏粒度儀、金相顯微鏡及其制樣設(shè)備等進(jìn)行化學(xué)成份分析、金相分析、粉末粒度分析甚至織構(gòu)分析。然后還需要各種車銑磨床進(jìn)行機(jī)加工；最后還需要綁定設(shè)備和真空無塵包裝車間和設(shè)備進(jìn)行靶材包裝。非金屬的靶材則需要相應(yīng)的燒結(jié)爐。剩下的其他設(shè)備和金屬靶材的相同。 |
2樓2016-03-16 10:47:55
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6樓2016-03-16 13:59:45
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7樓2016-03-16 14:03:34
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12樓2016-03-18 14:26:30
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3樓2016-03-16 11:15:34
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4樓2016-03-16 11:24:14
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10樓2016-03-17 15:24:30
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