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dirkjiayou木蟲 (小有名氣)
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[求助]
單位想做濺射靶材，我也是外行，大家能不能幫忙推薦一下做靶材用到的設(shè)備，定重謝！ 已有2人參與
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| 單位想做濺射靶材，我也是外行，大家能不能幫忙推薦一下做靶材用到的設(shè)備，非常感謝！ |
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cyg376116
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9樓2016-03-17 13:39:22
peterflyer 
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
dirkjiayou: 金幣+50, ★★★很有幫助 2016-03-16 11:13:34
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dirkjiayou: 金幣+50, ★★★很有幫助 2016-03-16 11:13:34
| 要看是做什么種類的靶材了。做金屬的靶材，需要真空熔煉爐，或者真空燒結(jié)爐或氫氣氣氛燒結(jié)爐進行制坯；然后可能需要鍛錘和軋機進行壓力成形加工；接著需要真空退火爐進行靶材熱處理；然后需要超聲無損檢測設(shè)備進行檢測；需要掃描電鏡、ICP 、激光粒度儀、費氏粒度儀、金相顯微鏡及其制樣設(shè)備等進行化學(xué)成份分析、金相分析、粉末粒度分析甚至織構(gòu)分析。然后還需要各種車銑磨床進行機加工；最后還需要綁定設(shè)備和真空無塵包裝車間和設(shè)備進行靶材包裝。非金屬的靶材則需要相應(yīng)的燒結(jié)爐。剩下的其他設(shè)備和金屬靶材的相同。 |
2樓2016-03-16 10:47:55
dirkjiayou
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3樓2016-03-16 11:15:34
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4樓2016-03-16 11:24:14
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