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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 金屬 » 測試表征 » 硅片表面磁控濺射氧化鋁-氧化釔，想要做熱重
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soeyoung銅蟲 (初入文壇)
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硅片表面磁控濺射氧化鋁-氧化釔，想要做熱重
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如題。在硅片上面反應磁控濺射鍍上一層氧化鋁-氧化釔，大約幾百納米，想要做TG/DSC/DTA都行。但是需要把硅片給溶解了，才能能到薄膜粉末，第一次想要做這樣的測試，請問怎么才能把硅片溶解。 做熱重的時候可以用氧化鋁坩堝嗎？ 謝謝大家了 |
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