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soeyoung銅蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
硅片表面磁控濺射氧化鋁-氧化釔，想要做熱重
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如題。在硅片上面反應(yīng)磁控濺射鍍上一層氧化鋁-氧化釔，大約幾百納米，想要做TG/DSC/DTA都行。但是需要把硅片給溶解了，才能能到薄膜粉末，第一次想要做這樣的測(cè)試，請(qǐng)問(wèn)怎么才能把硅片溶解。 做熱重的時(shí)候可以用氧化鋁坩堝嗎？ 謝謝大家了 |
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4樓2016-08-04 18:25:17
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2樓2016-08-04 17:50:04
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當(dāng)時(shí)實(shí)驗(yàn)室用磁控濺射在Si片上鍍膜，但發(fā)現(xiàn)做不了投射，所以改用氯化鈉片做襯底，然后一溶解就能把襯底溶解掉 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
3樓2016-08-04 18:24:59
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