 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1442 | 回復(fù): 4 | |||
nanate金蟲 (小有名氣)
|
[求助]
求磁控濺射問(wèn)題，急急急�。� 已有1人參與
|
|
各位大俠： 本人遇見(jiàn)一個(gè)問(wèn)題，設(shè)備是歐瑞康的磁控濺射設(shè)備，RF電源，4個(gè)4寸圓形靶。最近在濺射的過(guò)程中發(fā)現(xiàn) 屏蔽罩上有輝光，而且設(shè)備的四個(gè)靶位均出現(xiàn)了這個(gè)問(wèn)題，這個(gè)問(wèn)題比較麻煩，可能會(huì)對(duì)薄膜污染。請(qǐng)教如何解決這問(wèn)題。 我們進(jìn)行了排查： 1. 我們量了屏蔽罩是接地的，陰極與屏蔽罩的電阻在1兆歐左右； 2. RF電源、匹配器與線路已經(jīng)排除，嘗試了兩電源，沒(méi)有 效果。 3. 擋板關(guān)閉的時(shí)候，屏蔽罩上沒(méi)有出現(xiàn)輝光，開擋板就有輝光。 image1.JPG |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 薄膜制備與特性 |
» 猜你喜歡
085600材料與化工調(diào)劑 324分
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
344求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
266求調(diào)劑
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
化學(xué)工程321分求調(diào)劑
已經(jīng)有18人回復(fù)
-
314求調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
08工科 320總分 求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
085601專碩，總分342求調(diào)劑，地區(qū)不限
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
311求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
化工學(xué)碩306求調(diào)劑
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
286求調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 求解決分子泵問(wèn)題！
已經(jīng)有4人回復(fù)
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
nanate: 金幣+5 2016-03-23 12:16:30
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
nanate: 金幣+5 2016-03-23 12:16:30
|
還是覺(jué)得屏蔽罩接地不好，建議把屏蔽罩徹底清洗下試試。還有與陰極之間阻抗1兆歐，好像有點(diǎn)小，建議找說(shuō)明書看看初始阻值是多少。另樓主測(cè)一下?lián)醢宕蜷_和關(guān)閉時(shí)，與屏蔽罩之間的通斷。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2016-03-21 07:38:00
nanate
金蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 290.5
- 散金: 30
- 帖子: 127
- 在線: 89.5小時(shí)
- 蟲號(hào): 525022
- 注冊(cè): 2008-03-14
- 性別: GG
- 專業(yè): 材料
3樓2016-03-23 12:16:21
4樓2016-03-31 21:07:44
5樓2017-10-10 11:56:15
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 nanate 的主題更新
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 化學(xué)工程321分求調(diào)劑 +15 | 大米飯！ 2026-03-15 | 18/900 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 材料與化工一志愿南昌大學(xué)327求調(diào)劑推薦 +8 | Ncdx123456 2026-03-13 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 296求調(diào)劑 +5 | 大口吃飯 身體健 2026-03-13 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 材料與化工求調(diào)劑 +6 | 為學(xué)666 2026-03-16 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 328求調(diào)劑，英語(yǔ)六級(jí)551，有科研經(jīng)歷 +3 | 生物工程調(diào)劑 2026-03-16 | 8/400 |
|
|
|
[碩博家園] 湖北工業(yè)大學(xué) 生命科學(xué)與健康學(xué)院-課題組招收2026級(jí)食品/生物方向碩士 +3 | 1喜春8 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 332求調(diào)劑 +6 | Zz版 2026-03-13 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 290求調(diào)劑 +6 | 孔志浩 2026-03-12 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 275求調(diào)劑 +4 | 太陽(yáng)花天天開心 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 285求調(diào)劑 +6 | ytter 2026-03-12 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0703 物理化學(xué)調(diào)劑 +3 | 我可以上岸的對(duì)?/a> 2026-03-13 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求老師收留調(diào)劑 +4 | jiang姜66 2026-03-14 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 材料與化工 323 英一+數(shù)二+物化，一志愿：哈工大 本人本科雙一流 +4 | 自由的_飛翔 2026-03-13 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 255求調(diào)劑 +3 | 李嘉慧， 2026-03-12 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 復(fù)試調(diào)劑 +4 | z1z2z3879 2026-03-14 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求材料調(diào)劑 +5 | 隔壁陳先生 2026-03-12 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +7 | 7712b 2026-03-13 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +4 | 芬達(dá)46 2026-03-12 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 290求調(diào)劑 +7 | ADT 2026-03-12 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 328化工專碩求調(diào)劑 +4 | 。，。，。，。i 2026-03-12 | 4/200 |
|