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nanate金蟲 (小有名氣)
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[求助]
求磁控濺射問題，急急急�。� 已有1人參與
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各位大俠： 本人遇見一個問題，設(shè)備是歐瑞康的磁控濺射設(shè)備，RF電源，4個4寸圓形靶。最近在濺射的過程中發(fā)現(xiàn) 屏蔽罩上有輝光，而且設(shè)備的四個靶位均出現(xiàn)了這個問題，這個問題比較麻煩，可能會對薄膜污染。請教如何解決這問題。 我們進行了排查： 1. 我們量了屏蔽罩是接地的，陰極與屏蔽罩的電阻在1兆歐左右； 2. RF電源、匹配器與線路已經(jīng)排除，嘗試了兩電源，沒有 效果。 3. 擋板關(guān)閉的時候，屏蔽罩上沒有出現(xiàn)輝光，開擋板就有輝光。 image1.JPG |
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
nanate: 金幣+5 2016-03-23 12:16:30
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nanate: 金幣+5 2016-03-23 12:16:30
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還是覺得屏蔽罩接地不好，建議把屏蔽罩徹底清洗下試試。還有與陰極之間阻抗1兆歐，好像有點小，建議找說明書看看初始阻值是多少。另樓主測一下?lián)醢宕蜷_和關(guān)閉時，與屏蔽罩之間的通斷。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2016-03-21 07:38:00
nanate
金蟲 (小有名氣)
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5樓2017-10-10 11:56:15
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