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純凈水的說(shuō)鐵蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
有關(guān)真空鍍膜偏壓清洗的事情想問(wèn)一下懂的人 已有1人參與
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| 先介紹一下我的儀器是普通的電阻式的蒸鍍儀器，但是當(dāng)初老師買(mǎi)的時(shí)候預(yù)留了一下磁控濺射的部件準(zhǔn)備將來(lái)加裝的，氣體流量計(jì)和偏壓電源，做普通的蒸鍍沒(méi)有什么問(wèn)題。我現(xiàn)在想用偏壓對(duì)基片進(jìn)行清洗，但是以前的人都沒(méi)有用過(guò)，只有當(dāng)時(shí)廠家留下的一點(diǎn)點(diǎn)信息�？吹缴厦鎸�(xiě)在2-3pa通氬氣加偏壓進(jìn)行輝光清洗的，我想問(wèn)一下2-3pa的情況下進(jìn)行清洗要不要開(kāi)分子泵，我機(jī)器機(jī)械泵抽零點(diǎn)幾帕還是可以的，能不能就在抽粗真空的時(shí)候進(jìn)行清洗。還有如果要開(kāi)分子泵清洗的話，第一次用的時(shí)候有沒(méi)有什么要注意的，會(huì)不會(huì)出現(xiàn)通的氬氣氣壓太大進(jìn)入分子泵出問(wèn)題的。我沒(méi)有用過(guò)磁控濺射的設(shè)備所以不是很清楚通氣的事情，有沒(méi)有同學(xué)指導(dǎo)一下。 |
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jedi-j
鐵桿木蟲(chóng) (職業(yè)作家)
- 應(yīng)助: 34 (小學(xué)生)
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- 帖子: 3364
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- 蟲(chóng)號(hào): 3083879
- 注冊(cè): 2014-03-24
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
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小弟以前做過(guò)離子源和各種鍍膜，來(lái)說(shuō)說(shuō)吧∶ 1. 清潔基板不一定只能用氬氣，氧氣有時(shí)會(huì)更好。純氮甚至 CDA(clean dry air)有時(shí)也是不錯(cuò)選擇，取決於基板材質(zhì)、膜質(zhì)、膜厚等。 2. 偏壓電源供應(yīng)器要小心燒掉，也要確實(shí)接地。起始電壓和相關(guān)數(shù)據(jù)得自己查表和 trial and error。注意偏壓的電流值，可以表示輝光放電點(diǎn)火與否和等離子體的狀態(tài)。甚至可以等效表示氣壓大小。 3. 氣流和壓力控制部分幫不了你；得自己先看看書(shū)，和設(shè)備上先用便宜氣體空操看看。確定流量和壓力都可以。 先這樣吧～ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
6樓2016-04-05 09:53:09
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1.分子泵要開(kāi)，2-3pa，分子泵可以正常工作，并且在分子泵和鍍膜室之間有個(gè)調(diào)壓閥，分子泵泵口的實(shí)際壓力是優(yōu)于2-3pa的；另濺射或清洗前需要分子泵把本底真空抽到10-3pa以上。2.充氣時(shí)，先打開(kāi)調(diào)壓閥，再打開(kāi)流量計(jì)慢慢調(diào)節(jié)流量，注意觀察真空度。一般很好穩(wěn)定在想要的真空度。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
2樓2016-04-04 07:55:54
純凈水的說(shuō)
鐵蟲(chóng) (初入文壇)
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- 注冊(cè): 2015-10-03
- 專業(yè): 粒子物理學(xué)和場(chǎng)論
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我們這個(gè)好像沒(méi)有調(diào)壓閥的，分子泵和腔室之間那個(gè)閥要么開(kāi)要么關(guān)的。抽到10負(fù)3開(kāi)截止閥，沒(méi)開(kāi)流量計(jì)管路里的大氣進(jìn)入腔室，會(huì)不會(huì)對(duì)電離規(guī)和分子泵有影響。還有做普通的蒸鍍，偏壓清洗作用大不大。 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
3樓2016-04-04 10:13:40
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沒(méi)有調(diào)壓閥樓主要小心，流量計(jì)流量一定要慢慢加上去，防止氣體負(fù)荷大沖擊分子泵。呵呵 還是建議整個(gè)調(diào)壓閥 要不太浪費(fèi)氣體了，都讓泵抽走了。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
4樓2016-04-04 12:07:22
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