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純凈水的說鐵蟲 (初入文壇)
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[求助]
有關(guān)真空鍍膜偏壓清洗的事情想問一下懂的人 已有1人參與
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| 先介紹一下我的儀器是普通的電阻式的蒸鍍儀器，但是當(dāng)初老師買的時(shí)候預(yù)留了一下磁控濺射的部件準(zhǔn)備將來加裝的，氣體流量計(jì)和偏壓電源，做普通的蒸鍍沒有什么問題。我現(xiàn)在想用偏壓對(duì)基片進(jìn)行清洗，但是以前的人都沒有用過，只有當(dāng)時(shí)廠家留下的一點(diǎn)點(diǎn)信息�？吹缴厦鎸懺�2-3pa通氬氣加偏壓進(jìn)行輝光清洗的，我想問一下2-3pa的情況下進(jìn)行清洗要不要開分子泵，我機(jī)器機(jī)械泵抽零點(diǎn)幾帕還是可以的，能不能就在抽粗真空的時(shí)候進(jìn)行清洗。還有如果要開分子泵清洗的話，第一次用的時(shí)候有沒有什么要注意的，會(huì)不會(huì)出現(xiàn)通的氬氣氣壓太大進(jìn)入分子泵出問題的。我沒有用過磁控濺射的設(shè)備所以不是很清楚通氣的事情，有沒有同學(xué)指導(dǎo)一下。 |
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1.分子泵要開，2-3pa，分子泵可以正常工作，并且在分子泵和鍍膜室之間有個(gè)調(diào)壓閥，分子泵泵口的實(shí)際壓力是優(yōu)于2-3pa的；另濺射或清洗前需要分子泵把本底真空抽到10-3pa以上。2.充氣時(shí)，先打開調(diào)壓閥，再打開流量計(jì)慢慢調(diào)節(jié)流量，注意觀察真空度。一般很好穩(wěn)定在想要的真空度。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2016-04-04 07:55:54
純凈水的說
鐵蟲 (初入文壇)
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我們這個(gè)好像沒有調(diào)壓閥的，分子泵和腔室之間那個(gè)閥要么開要么關(guān)的。抽到10負(fù)3開截止閥，沒開流量計(jì)管路里的大氣進(jìn)入腔室，會(huì)不會(huì)對(duì)電離規(guī)和分子泵有影響。還有做普通的蒸鍍，偏壓清洗作用大不大。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
3樓2016-04-04 10:13:40
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沒有調(diào)壓閥樓主要小心，流量計(jì)流量一定要慢慢加上去，防止氣體負(fù)荷大沖擊分子泵。呵呵 還是建議整個(gè)調(diào)壓閥 要不太浪費(fèi)氣體了，都讓泵抽走了。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2016-04-04 12:07:22
5樓2016-04-04 12:09:52
jedi-j
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小弟以前做過離子源和各種鍍膜，來說說吧∶ 1. 清潔基板不一定只能用氬氣，氧氣有時(shí)會(huì)更好。純氮甚至 CDA(clean dry air)有時(shí)也是不錯(cuò)選擇，取決於基板材質(zhì)、膜質(zhì)、膜厚等。 2. 偏壓電源供應(yīng)器要小心燒掉，也要確實(shí)接地。起始電壓和相關(guān)數(shù)據(jù)得自己查表和 trial and error。注意偏壓的電流值，可以表示輝光放電點(diǎn)火與否和等離子體的狀態(tài)。甚至可以等效表示氣壓大小。 3. 氣流和壓力控制部分幫不了你；得自己先看看書，和設(shè)備上先用便宜氣體空操看看。確定流量和壓力都可以。 先這樣吧～ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
6樓2016-04-05 09:53:09
jedi-j
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7樓2016-04-05 09:55:56
【答案】應(yīng)助回帖
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您說的清洗使用濺射儀，，，濺射儀是可以有清洗的功能， 清洗要注意晶片的傾斜角，真空度，溫度，以及晶片是否怕氧化 但是您的靶頭需要改變一下，不然等于濺射靶材覆蓋薄膜，您的儀器應(yīng)該是老儀器了吧，現(xiàn)在基本上不會(huì)這么做了，改動(dòng)需要技術(shù)人員現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試后，您才能用，說明書上說能用，但是他一定沒有告訴您怎么用，因?yàn)閺S家認(rèn)為這個(gè)功能您就不會(huì)用，寫出來也就是一個(gè)噱頭，您可以嘗試用PECVD的等離發(fā)生器，等離子清洗機(jī)，或者從市場(chǎng)上買個(gè)螺線管再買個(gè)射頻電源接一起。 |
8樓2016-07-29 10:55:03
9樓2016-07-29 10:59:29
10樓2016-07-29 11:01:00
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