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純凈水的說鐵蟲 (初入文壇)
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[求助]
有關真空鍍膜偏壓清洗的事情想問一下懂的人 已有1人參與
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| 先介紹一下我的儀器是普通的電阻式的蒸鍍儀器，但是當初老師買的時候預留了一下磁控濺射的部件準備將來加裝的，氣體流量計和偏壓電源，做普通的蒸鍍沒有什么問題。我現(xiàn)在想用偏壓對基片進行清洗，但是以前的人都沒有用過，只有當時廠家留下的一點點信息。看到上面寫在2-3pa通氬氣加偏壓進行輝光清洗的，我想問一下2-3pa的情況下進行清洗要不要開分子泵，我機器機械泵抽零點幾帕還是可以的，能不能就在抽粗真空的時候進行清洗。還有如果要開分子泵清洗的話，第一次用的時候有沒有什么要注意的，會不會出現(xiàn)通的氬氣氣壓太大進入分子泵出問題的。我沒有用過磁控濺射的設備所以不是很清楚通氣的事情，有沒有同學指導一下。 |
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8樓2016-07-29 10:55:03
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1.分子泵要開，2-3pa，分子泵可以正常工作，并且在分子泵和鍍膜室之間有個調壓閥，分子泵泵口的實際壓力是優(yōu)于2-3pa的；另濺射或清洗前需要分子泵把本底真空抽到10-3pa以上。2.充氣時，先打開調壓閥，再打開流量計慢慢調節(jié)流量，注意觀察真空度。一般很好穩(wěn)定在想要的真空度。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2016-04-04 07:55:54
純凈水的說
鐵蟲 (初入文壇)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 16.6
- 散金: 20
- 帖子: 7
- 在線: 29.4小時
- 蟲號: 4117441
- 注冊: 2015-10-03
- 專業(yè): 粒子物理學和場論
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我們這個好像沒有調壓閥的，分子泵和腔室之間那個閥要么開要么關的。抽到10負3開截止閥，沒開流量計管路里的大氣進入腔室，會不會對電離規(guī)和分子泵有影響。還有做普通的蒸鍍，偏壓清洗作用大不大。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
3樓2016-04-04 10:13:40
4樓2016-04-04 12:07:22
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