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CHN1314金蟲 (正式寫手)
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[求助]
鈦合金上磁控濺射制備了約2微米厚的薄膜，怎么拍截面的掃描
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| 現(xiàn)在的情況是：對(duì)試樣進(jìn)行側(cè)面拋光后，SEM下看截面的線掃，測不出膜的成分來，估計(jì)是拋光的時(shí)候把膜給磨掉了，按照老師的建議，熱鑲之后再拋光，依然測不出來，貌似在基體與鑲嵌料之間有空隙，就是說鑲嵌料不緊密�，F(xiàn)在應(yīng)該怎么辦啊，如何線掃測出薄膜的成分？ |
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【答案】應(yīng)助回帖
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CHN1314: 金幣+30, ★★★很有幫助 2016-04-17 11:57:55
CHN1314: 金幣+30, ★★★很有幫助 2016-04-17 11:57:55
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1.提高鑲料的壓力和密度，壓實(shí)。因?yàn)槟雍蚑i合金之間可能有較大的應(yīng)力，在研磨拋光的過程中的剪切力的作用下，膜層可能脫落。 2.提高研磨的深度。不管什么基體，其實(shí)在微觀上，邊沿都是有一定的弧度，在基體邊沿上往往沒有鍍上膜層或者膜層很薄。只有在膜面的靠里部分膜層才是真實(shí)的厚度。 3.普通的機(jī)械研磨拋光，應(yīng)力大，在不同材料的界面上往往研磨量是不同的，膜基結(jié)合力如果不夠，膜層內(nèi)應(yīng)力較大，可能會(huì)使膜層斷裂，脫落。所以在多層膜結(jié)構(gòu)的橫截面觀察上，往往采用聚焦離子束微納加工技術(shù)，也就是ion milling （離子研磨），也就是用聚焦離子束，垂直膜層面，沿著斷面邊沿轟擊去除部分材料，出現(xiàn)一個(gè)新鮮的精細(xì)斷面，然后再用SEM觀察。 |
10樓2016-04-15 19:53:47
L-lutt
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5樓2016-04-09 15:33:35
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6樓2016-04-09 16:25:57
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7樓2016-04-13 02:14:18
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