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meihaijuan新蟲 (初入文壇)
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[交流]
磁控鍍膜 靶材表面出現(xiàn)火花
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請(qǐng)教各位大神： 在磁控鍍膜TiN的時(shí)候，設(shè)置參數(shù)有，真空度5*10-3 pa，工作氣壓0.8 pa，溫度100℃，偏壓100V，功率300W。 1、轟擊前，氬氣流量20 sccm，真空計(jì)顯示0.14 pa，偏壓800V，打開磁控電源，功率300W，將高閥關(guān)小，使氣壓 升高到1.0 pa以上才可以正常起輝鍍膜，此時(shí)真空計(jì)顯示讀數(shù)為起輝前的兩倍，即2 pa以上。所以一旦起輝后，迅速將高閥 開到最大，使壓強(qiáng)降低到最小，但只能降到0.8 pa。 2、轟擊結(jié)束后，偏壓降到100V，氬氣流量20 sccm，氮?dú)饬髁? sccm，真空計(jì)顯示0.15 pa，此時(shí)將高閥關(guān)小，工作氣壓 必須調(diào)到2 pa以上才能正常起輝鍍膜，此時(shí)真空計(jì)顯示讀數(shù)為起輝前的兩倍，即4 pa以上。而起輝后，避免靶中毒，迅速將高閥 開到最大，使壓強(qiáng)降低到最小，但只能降到0.8 pa。 3、在起輝后進(jìn)行正常鍍膜的過程中，發(fā)現(xiàn)真空計(jì)讀數(shù)從0.8 pa到0.9 pa之間略微變化，靶材表面不斷地有小顆粒的火星溢出來， 每個(gè)10分鐘左右，磁控電源就斷開了，這時(shí)又開始升高氣壓到2 pa以上才能起輝，然后迅速將氣壓調(diào)至最低0.8 pa，就這樣來來回回 調(diào)整氣壓參數(shù)來鍍膜。 4、備注：鍍膜前靶材表面已用砂紙擦亮，氬氣和氮?dú)饬髁勘�，已�?jīng)多次試驗(yàn)優(yōu)化出來的鍍膜參數(shù)。 請(qǐng)問這個(gè)不穩(wěn)定的鍍膜現(xiàn)象是什么原因?qū)е碌�，又改如何解決，請(qǐng)各位高手多多指點(diǎn)，謝謝！ |
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濺射電源是用RF還是DC? 如果是DC, 靶表面氮化物多了就容易有火花. 若是使用RF, 可能是暗區(qū)(dark space)太大或太小. 或是陽極的沉積物多了. 要清一清. |
meihaijuan2樓2016-04-10 23:35:22
meihaijuan
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我們用的是AE電源，一開始沒有設(shè)定好電源參數(shù)，電源由于自我保護(hù)而無法運(yùn)行，同時(shí)也有粑中毒，導(dǎo)致滅弧，使電源運(yùn)行不穩(wěn)定。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
7樓2016-04-14 20:40:24
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8樓2016-04-15 07:13:06
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我們也用磁控濺設(shè)，做F e靶才的侍候，一開電源就自動(dòng)stop,也沒有短路。怎么解決， 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
5樓2016-04-11 20:09:28
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9樓2016-04-18 10:56:46
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10樓2016-04-18 13:38:15
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