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芝麻大迪新蟲 (初入文壇)
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[求助]
濺射氧化鉻的薄膜，XRD測試是非晶，好難過，請問怎么使得濺射上去的直接是晶體。 已有4人參與
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| 最近做磁控，我用的是直流。條件：功率25w，氬氧比9：1 ，9：3 ，9：4 ，9：6 濺射時間是二十分鐘，基底溫度是三百度。在玻璃基底濺射的，昨天測XRD全部顯示為非晶，查閱關于氧化鉻薄膜的相關文獻，發(fā)現(xiàn)做RF的比較多，RF的各項條件對于DF不適應吧我想，所以我現(xiàn)在也很愁，不知道條件怎么改，我才十九歲，各位哥哥姐姐學到的知識比我豐富太多，希望大家?guī)蛶臀摇鑶鑶?img src="https://muchongimg.xmcimg.com/data/emuch_bbs_images/smilies/arm.gif" align="absmiddle" border="0"> |
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qlihustmsti
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芝麻大迪
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5樓2016-04-10 08:01:56
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6樓2016-04-10 09:38:29
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