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芝麻大迪新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
濺射氧化鉻的薄膜，XRD測(cè)試是非晶，好難過(guò)，請(qǐng)問(wèn)怎么使得濺射上去的直接是晶體。 已有4人參與
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| 最近做磁控，我用的是直流。條件：功率25w，氬氧比9：1 ，9：3 ，9：4 ，9：6 濺射時(shí)間是二十分鐘，基底溫度是三百度。在玻璃基底濺射的，昨天測(cè)XRD全部顯示為非晶，查閱關(guān)于氧化鉻薄膜的相關(guān)文獻(xiàn)，發(fā)現(xiàn)做RF的比較多，RF的各項(xiàng)條件對(duì)于DF不適應(yīng)吧我想，所以我現(xiàn)在也很愁，不知道條件怎么改，我才十九歲，各位哥哥姐姐學(xué)到的知識(shí)比我豐富太多，希望大家?guī)蛶臀摇鑶鑶?img src="https://muchongimg.xmcimg.com/data/emuch_bbs_images/smilies/arm.gif" align="absmiddle" border="0"> |
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 薄膜材料和器件制備 |
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芝麻大迪
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4樓2016-04-09 21:39:35
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3樓2016-04-09 16:52:49
芝麻大迪
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5樓2016-04-10 08:01:56
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6樓2016-04-10 09:38:29
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