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LAnza_lw銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射腔室防殘留污染的方法
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生產(chǎn)中上一批濺射使用的靶材在腔室上的殘留可能會(huì)影響的下一批的生產(chǎn)，為了防止其發(fā)生，采用那些方法比較便捷、有效？ 有些設(shè)備會(huì)用錫箔紙保護(hù)墻壁，如果使用可拆卸無磁性的保護(hù)板保護(hù)腔室，保護(hù)板上鍍有一層膜，完成一次生產(chǎn)后，將保護(hù)板換下，換上干凈板繼續(xù)生產(chǎn)；將用過的保護(hù)板放在水或者其他無污染溶劑中，與保護(hù)板上的膜層發(fā)生作用，洗掉該膜層與濺射殘留物，起到清潔的作用。有沒有專家能不能指正一下我所描述的過程是否有誤，以及該鍍膜是什么，清洗用溶劑是什么？謝謝 @zbhwel |
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 薄膜制備與特性 |
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3樓2016-05-15 07:26:08
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