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LAnza_lw銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射腔室防殘留污染的方法
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生產(chǎn)中上一批濺射使用的靶材在腔室上的殘留可能會影響的下一批的生產(chǎn)，為了防止其發(fā)生，采用那些方法比較便捷、有效？ 有些設(shè)備會用錫箔紙保護墻壁，如果使用可拆卸無磁性的保護板保護腔室，保護板上鍍有一層膜，完成一次生產(chǎn)后，將保護板換下，換上干凈板繼續(xù)生產(chǎn)；將用過的保護板放在水或者其他無污染溶劑中，與保護板上的膜層發(fā)生作用，洗掉該膜層與濺射殘留物，起到清潔的作用。有沒有專家能不能指正一下我所描述的過程是否有誤，以及該鍍膜是什么，清洗用溶劑是什么？謝謝 @zbhwel |
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 薄膜制備與特性 |
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2樓2016-05-05 08:06:01
caojingpie
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3樓2016-05-15 07:26:08
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