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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 測試表征 » 腐蝕測試
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ynn123新蟲 (小有名氣)
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[交流]
腐蝕測試
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p型硅片摻雜磷后，想通過四探針來測試其方阻隨腐蝕深度的變化，但是測試結(jié)果就是隨腐蝕的進(jìn)行，方阻未發(fā)生變化，這是為什么？？？哪位大神指導(dǎo)一下，跪求 |
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ynn123(金幣+1): 謝謝參與
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2樓2016-05-26 21:33:37
胤熙wenber
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3樓2016-05-26 21:40:51
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4樓2016-05-27 13:15:48
ynn123
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5樓2016-05-27 13:56:09
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★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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我們假設(shè)你的樣品朝上的那面就是正方形（便于分析），那么它的電阻就是它的方塊電阻對吧？它本身的電阻有多大與我從那個方向上測，用什么方式測沒關(guān)系對吧？那我要是從z軸方向測，就像是兩個小電阻串聯(lián)一個pn結(jié)區(qū)，結(jié)區(qū)那部分電阻比較大，也就是說你腐蝕掉的部分跟它比可以忽略不計。也就是在你腐蝕掉結(jié)區(qū)之前，電阻沒有較大變化。這全是我自己瞎分析的，說的要是不對你別生氣哈 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
6樓2016-05-27 23:41:03
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