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ynn123新蟲 (小有名氣)
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[交流]
腐蝕測試
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p型硅片摻雜磷后,想通過四探針來測試其方阻隨腐蝕深度的變化,但是測試結(jié)果就是隨腐蝕的進(jìn)行,方阻未發(fā)生變化,這是為什么???哪位大神指導(dǎo)一下,跪求 |
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木蟲 (著名寫手)
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新蟲 (小有名氣)
至尊木蟲 (著名寫手)
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我們假設(shè)你的樣品朝上的那面就是正方形(便于分析),那么它的電阻就是它的方塊電阻對(duì)吧?它本身的電阻有多大與我從那個(gè)方向上測,用什么方式測沒關(guān)系對(duì)吧?那我要是從z軸方向測,就像是兩個(gè)小電阻串聯(lián)一個(gè)pn結(jié)區(qū),結(jié)區(qū)那部分電阻比較大,也就是說你腐蝕掉的部分跟它比可以忽略不計(jì)。也就是在你腐蝕掉結(jié)區(qū)之前,電阻沒有較大變化。這全是我自己瞎分析的,說的要是不對(duì)你別生氣哈 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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