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ly2829鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
Ti合金如何直流磁控濺射得到TiO2啊，急！ 已有1人參與
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| 有一個問題請教大家。我用鈦和鈮的合金直流濺射希望薄膜成分是Nb:TiO2,得到的薄膜用XRD測不是TiO2的峰，不知是什么原因。參數(shù)：f(O2)/f(O2)+f(Ar)=10%,濺射功率200W，本底真空度3.8*10-4，靶基距6cm，工作壓強1.0Pa,Ts=TR,濺射時間74分鐘，原位退火550度，時間1小時，壓強1Pa。怎樣才能達到我希望得到的呢，老板催得緊，急啊。 |
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2樓2016-07-01 07:15:36
ly2829
鐵蟲 (小有名氣)
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- 蟲號: 2490438
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- 性別: GG
- 專業(yè): 基礎物理學
3樓2016-07-05 09:36:29
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