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ly2829鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
Ti合金如何直流磁控濺射得到TiO2啊，急！ 已有1人參與
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| 有一個(gè)問題請(qǐng)教大家。我用鈦和鈮的合金直流濺射希望薄膜成分是Nb:TiO2,得到的薄膜用XRD測(cè)不是TiO2的峰，不知是什么原因。參數(shù)：f(O2)/f(O2)+f(Ar)=10%,濺射功率200W，本底真空度3.8*10-4，靶基距6cm，工作壓強(qiáng)1.0Pa,Ts=TR,濺射時(shí)間74分鐘，原位退火550度，時(shí)間1小時(shí)，壓強(qiáng)1Pa。怎樣才能達(dá)到我希望得到的呢，老板催得緊，急啊。 |
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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反應(yīng)濺射和濺射電壓，電流關(guān)系密切，樓主應(yīng)確定產(chǎn)物是氧化物而不是金屬，另反應(yīng)濺射用射頻電源會(huì)好些。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2016-07-01 07:15:36
ly2829
鐵蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
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- 注冊(cè): 2013-05-31
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- 專業(yè): 基礎(chǔ)物理學(xué)
3樓2016-07-05 09:36:29
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