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拾肆洛希鐵蟲 (初入文壇)
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[求助]
用中頻磁控濺射和石墨靶制備DLC,但是發(fā)現(xiàn)什么都沒濺射出來 已有1人參與
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看一些文獻(xiàn)這個(gè)方法應(yīng)該是可行的,取的工藝參數(shù)也差不多,但是試了幾次都發(fā)現(xiàn)沒有成膜,鍍膜機(jī)的腔體里面也基本沒有濺射出來的物質(zhì) 有沒有前輩也遇到過類似問題的,可知道是什么原因,求解答 |
薄膜制備與特性 |
專家顧問 (知名作家)
![]() |
專家經(jīng)驗(yàn): +731 |
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肯定是功率不夠,文獻(xiàn)中的儀器參數(shù)因?yàn)樵O(shè)備不同可以有很大差異,沒必要完全照抄照搬,你應(yīng)該設(shè)計(jì)自己的實(shí)驗(yàn)條件,最后目的就是鍍膜,控制厚度和致密度 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |

鐵蟲 (初入文壇)
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