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拾肆洛希鐵蟲 (初入文壇)
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[求助]
用中頻磁控濺射和石墨靶制備DLC，但是發(fā)現(xiàn)什么都沒濺射出來 已有1人參與
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看一些文獻這個方法應(yīng)該是可行的，取的工藝參數(shù)也差不多，但是試了幾次都發(fā)現(xiàn)沒有成膜，鍍膜機的腔體里面也基本沒有濺射出來的物質(zhì) 有沒有前輩也遇到過類似問題的，可知道是什么原因，求解答 |
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 薄膜制備與特性 |
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chinaworm
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肯定是功率不夠，文獻中的儀器參數(shù)因為設(shè)備不同可以有很大差異，沒必要完全照抄照搬，你應(yīng)該設(shè)計自己的實驗條件，最后目的就是鍍膜，控制厚度和致密度 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2016-07-05 21:27:58
拾肆洛希
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3樓2016-07-06 10:14:03
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4樓2016-07-07 23:15:27
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5樓2016-07-15 11:44:39
拾肆洛希
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6樓2016-09-19 15:17:04
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