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momabow木蟲 (著名寫手)
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[求助]
如何制造微納米級的臺階 已有2人參與
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2樓2016-07-19 14:04:27
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momabow木蟲 (著名寫手)
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3樓2016-07-19 18:00:04
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yswyx
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專家經(jīng)驗(yàn): +651 |
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如果你有電子束曝光,那就很好辦了。直接做灰度光刻。 電子束曝光哪里來的掩模?直寫的啊。你的意思是掩膜吧? 用PMMA膠,用過不同位置的不同曝光劑量來寫出不同高度臺階的光刻膠結(jié)構(gòu)。麻煩的地方要按照劑量分層,看你用的是什么設(shè)備了。 可以發(fā)郵件給我,tech@rdmicro.com |
木蟲 (著名寫手)
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