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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 如何制造微納米級的臺階
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momabow木蟲 (著名寫手)
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[求助]
如何制造微納米級的臺階 已有2人參與
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請教各位大神，圖片所示的微納米臺階怎么做，總共有幾十級 1.jpg |
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momabow2樓2016-07-19 14:04:27
momabow
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3樓2016-07-19 18:00:04
yswyx 
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【答案】應(yīng)助回帖
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momabow: 金幣+30, ★★★★★最佳答案 2016-07-22 15:13:01
momabow: 金幣+30, ★★★★★最佳答案 2016-07-22 15:13:01
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如果你有電子束曝光，那就很好辦了。直接做灰度光刻。 電子束曝光哪里來的掩模��？直寫的啊。你的意思是掩膜吧？ 用PMMA膠，用過不同位置的不同曝光劑量來寫出不同高度臺階的光刻膠結(jié)構(gòu)。麻煩的地方要按照劑量分層，看你用的是什么設(shè)備了。 可以發(fā)郵件給我，tech@rdmicro.com |
4樓2016-07-22 12:09:16
momabow
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5樓2016-07-23 14:49:32
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