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強(qiáng)哥哥哥新蟲 (著名寫手)
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[求助]
光刻機(jī)在曝光的時候亮一下就不曝光了,什么原因 已有2人參與
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我在做光刻實(shí)驗(yàn)時,在曝光過程中,燈亮了一下就不曝光了,會是什么原因? 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
鐵蟲 (正式寫手)
鐵蟲 (正式寫手)
金蟲 (著名寫手)
新蟲 (初入文壇)
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通常曝光時,汞燈是一直亮著的,只是通過擋板擋住光,請確認(rèn)你的燈是滅了,還是曝光時間結(jié)束后擋板擋住光了。如果你覺得時間太短可以調(diào)整曝光時間 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
木蟲 (正式寫手)
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建議首先檢查一下汞燈是否好的或者接觸不良,然后觀察一下在燈亮了一下后,曝光時間是否正常走;還有看看真空壓力表示數(shù)是否正;蛘咂,很有可能是里面的連通的管子三通或者兩通接頭老化漏氣,仔細(xì)聽聽聲音。個人覺得最后一個概率最大。歡迎排查后反饋 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |

新蟲 (著名寫手)
木蟲 (正式寫手)

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