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強哥哥哥新蟲 (著名寫手)
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[求助]
光刻機在曝光的時候亮一下就不曝光了，什么原因 已有2人參與
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我在做光刻實驗時，在曝光過程中，燈亮了一下就不曝光了，會是什么原因？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2016-10-19 07:53:44
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3樓2016-10-19 07:56:08
4樓2016-10-19 10:32:34
babyoflion
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5樓2016-10-20 18:50:54
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通常曝光時，汞燈是一直亮著的，只是通過擋板擋住光，請確認(rèn)你的燈是滅了，還是曝光時間結(jié)束后擋板擋住光了。如果你覺得時間太短可以調(diào)整曝光時間 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
6樓2016-10-20 20:43:42
叫我小川兄吧
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建議首先檢查一下汞燈是否好的或者接觸不良，然后觀察一下在燈亮了一下后，曝光時間是否正常走；還有看看真空壓力表示數(shù)是否正常或者偏小，很有可能是里面的連通的管子三通或者兩通接頭老化漏氣，仔細(xì)聽聽聲音。個人覺得最后一個概率最大。歡迎排查后反饋 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
7樓2016-10-22 23:32:25
強哥哥哥
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8樓2016-10-23 00:17:31
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9樓2016-10-23 01:35:53
10樓2017-02-25 21:54:47
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