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egg_plant木蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
直流磁控濺射能否濺射半導(dǎo)體鍺靶
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大家好，我們之前用多靶的直流磁控濺射制備耐磨薄膜時(shí)摻雜過(guò)Si，這次想使用Ge靶，但看到好多文獻(xiàn)都是用的射頻濺射，想問(wèn)問(wèn)直流的一定不能濺射半導(dǎo)體Ge靶嗎？ |
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才看了一下Ge 它的導(dǎo)電性優(yōu)于一般非金屬 劣于一般金屬 估計(jì)這個(gè)導(dǎo)電性有點(diǎn)尷尬吧 還有它的電子遷移率等機(jī)制 不確定能導(dǎo)走電子 安全起見(jiàn)選的射頻吧 不過(guò)射頻的能量也高點(diǎn) 我只是推測(cè)啊 畢竟也沒(méi)接觸這個(gè)材料 弱弱的問(wèn)一句 樓主你是做軍品的嘛 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
2樓2016-11-26 23:26:48
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