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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 網絡生活區(qū) » 有獎問答 » 學術幫助 » 直流磁控濺射能否濺射半導體鍺靶
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[求助]
直流磁控濺射能否濺射半導體鍺靶
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大家好，我們之前用多靶的直流磁控濺射制備耐磨薄膜時摻雜過Si，這次想使用Ge靶，但看到好多文獻都是用的射頻濺射，想問問直流的一定不能濺射半導體Ge靶嗎？ |
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歐姆007
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才看了一下Ge 它的導電性優(yōu)于一般非金屬 劣于一般金屬 估計這個導電性有點尷尬吧 還有它的電子遷移率等機制 不確定能導走電子 安全起見選的射頻吧 不過射頻的能量也高點 我只是推測啊 畢竟也沒接觸這個材料 弱弱的問一句 樓主你是做軍品的嘛 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
2樓2016-11-26 23:26:48
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