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sun丶lei新蟲 (小有名氣)
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[求助]
請教一下磁控濺射鍍CoFeB薄膜 已有1人參與
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我看文章中一般能在0.5pa左右鍍膜，但是我在4pa左右起輝之后，直流濺射鍍膜，真空度一高腔室里面輝光就沒了，而且直流電壓電流不穩(wěn)定，加到0.4A就上不去了～請教下大家是什么原因 @yswyx 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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【答案】應助回帖
感謝參與，應助指數(shù) +1
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全是鐵磁性材料，需要專門的強磁靶，普通的磁控陰極靶，性能有限 不容易起輝。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
sun丶lei2樓2016-11-24 19:29:26
sun丶lei
新蟲 (小有名氣)
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3樓2016-11-28 09:47:28
sun丶lei
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4樓2016-11-28 09:55:57
5樓2016-11-28 18:37:17
6樓2017-01-05 17:30:55
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