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請教一下磁控濺射鍍CoFeB薄膜 已有1人參與
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我看文章中一般能在0.5pa左右鍍膜,但是我在4pa左右起輝之后,直流濺射鍍膜,真空度一高腔室里面輝光就沒了,而且直流電壓電流不穩(wěn)定,加到0.4A就上不去了~請教下大家是什么原因 @yswyx 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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