 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 4 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 879 | 回復(fù): 3 | ||||
Gavinlai新蟲 (初入文壇)
|
[求助]
AFM如何測epi級硅襯底的形貌？ 已有1人參與
|
|
用Bruker家AFM測襯底的平整度。 手頭上有3種襯底，一種是藍(lán)寶石，一種是硅片A，另外一種是硅片B。 兩家硅片的規(guī)格說寫是一樣的規(guī)格，平整度<0.5 nm，但是實(shí)際上同爐外延后出來的效果有相當(dāng)大的差距，所以想自己用AFM驗(yàn)一下硅片表明的形貌。 但是其中比較頭疼的就是AFM 輕敲Tapping 模式測量參數(shù)的調(diào)節(jié)，尤其是 Setpoint，以及閉環(huán)PID的調(diào)節(jié)。  在測藍(lán)寶石襯底時(shí)，AFM一直有比較好的效果。但是一到硅襯底，就是各種噪聲。網(wǎng)上查 了一下，對于比較平整的表面，需要將Setpoint調(diào)小然后增大P Gain，I Gain。 但是實(shí)際操作上，無論怎么調(diào)小Setpoint，增大PID，都不能得到有用的信號。 再者，PID過大會引起信號的振蕩。 哪位高手有用AFM的經(jīng)驗(yàn)，給小弟一個測硅襯底的參考參數(shù)。  |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
院士團(tuán)隊(duì)-每屆學(xué)生都優(yōu)秀-高自由度-團(tuán)隊(duì)氛圍好
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
無機(jī)化學(xué)論文潤色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有144人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢高校國家級人才團(tuán)隊(duì)招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復(fù)
-
紡大化工學(xué)院（官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
溫州大學(xué)化材學(xué)院王娟課題組招生
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢紡織大學(xué)化工學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗(yàn): +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.9
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時(shí)
- 蟲號: 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
Gavinlai: 金幣+5 2017-05-10 17:06:58
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
Gavinlai: 金幣+5 2017-05-10 17:06:58
|
這個不大對啊。一般用來外延的藍(lán)寶石，表面的粗糙度是0.1nm水平的，表面比硅片的質(zhì)量還好才對。 如果說你用AFM測藍(lán)寶石是對的，那么你那個測硅片的噪聲就很奇怪了。 我們自己測過很多的硅片，經(jīng)常把片子送給我們配合的實(shí)驗(yàn)室?guī)臀覀儥z測，0.3nm到0.1nm的Ra經(jīng)常出現(xiàn)，不應(yīng)該有你這種現(xiàn)象的。 你買的片子的具體指標(biāo)是什么？哪個工廠生產(chǎn)的？你可以短信發(fā)給我看看。 |
2樓2017-04-28 15:37:38
啥也博士
新蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 256
- 帖子: 69
- 在線: 86.6小時(shí)
- 蟲號: 3408098
- 注冊: 2014-09-10
- 專業(yè): 玻璃材料
3樓2017-05-04 21:14:14
yswyx
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗(yàn): +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.9
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時(shí)
- 蟲號: 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
4樓2017-05-11 11:40:00
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 Gavinlai 的主題更新
| 4 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 一志愿211院校 344分 東北農(nóng)業(yè)大學(xué)生物學(xué)學(xué)碩，求調(diào)劑 +5 | 丶風(fēng)雪夜歸人丶 2026-03-26 | 8/400 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 286求調(diào)劑 +8 | PolarBear11 2026-03-26 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 一志愿南昌大學(xué)324求調(diào)劑 +3 | hanamiko 2026-03-27 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 322求調(diào)劑 +4 | 我真的很想學(xué)習(xí) 2026-03-23 | 4/200 |
|
|
[考研] 求調(diào)劑323材料與化工 +7 | 1124361 2026-03-24 | 7/350 |
|
|
|
[考研]
 一志愿武漢理工，總分321，英一數(shù)二，求老師收留。
+5
|
nnnnnnn5 2026-03-25 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 284求調(diào)劑 +11 | junqihahaha 2026-03-26 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 調(diào)劑求收留 +7 | 果然有我 2026-03-26 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 271求調(diào)劑 +6 | 生如夏花… 2026-03-22 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 281求調(diào)劑 +6 | Koxui 2026-03-24 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 環(huán)境專碩324分求調(diào)劑推薦 +5 | 軒小寧—— 2026-03-26 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 各位老師您好：本人初試372分 +5 | jj涌77 2026-03-25 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)求調(diào)劑 +6 | 奶油草莓. 2026-03-22 | 7/350 |
|
|
|
[考研] B區(qū)考研調(diào)劑 +4 | yqdszhdap－ 2026-03-22 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 277分求調(diào)劑，跨調(diào)材料 +3 | 考研調(diào)劑lxh 2026-03-24 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿山東大學(xué)藥學(xué)學(xué)碩求調(diào)劑 +3 | 開開心心沒煩惱 2026-03-23 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 361求調(diào)劑 +3 | Glack 2026-03-22 | 3/150 |
|
|
|
[論文投稿] 急發(fā)核心期刊論文 +3 | 賢達(dá)問津 2026-03-23 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +4 | 要好好無聊 2026-03-21 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 材料 271求調(diào)劑 +5 | 展信悅_ 2026-03-21 | 5/250 |
|