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AFM如何測epi級硅襯底的形貌？ 已有1人參與
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用Bruker家AFM測襯底的平整度。 手頭上有3種襯底，一種是藍寶石，一種是硅片A，另外一種是硅片B。 兩家硅片的規(guī)格說寫是一樣的規(guī)格，平整度<0.5 nm，但是實際上同爐外延后出來的效果有相當大的差距，所以想自己用AFM驗一下硅片表明的形貌。 但是其中比較頭疼的就是AFM 輕敲Tapping 模式測量參數(shù)的調(diào)節(jié)，尤其是 Setpoint，以及閉環(huán)PID的調(diào)節(jié)。  在測藍寶石襯底時，AFM一直有比較好的效果。但是一到硅襯底，就是各種噪聲。網(wǎng)上查 了一下，對于比較平整的表面，需要將Setpoint調(diào)小然后增大P Gain，I Gain。 但是實際操作上，無論怎么調(diào)小Setpoint，增大PID，都不能得到有用的信號。 再者，PID過大會引起信號的振蕩。 哪位高手有用AFM的經(jīng)驗，給小弟一個測硅襯底的參考參數(shù)。  |
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yswyx 
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【答案】應助回帖
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感謝參與，應助指數(shù) +1
Gavinlai: 金幣+5 2017-05-10 17:06:58
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Gavinlai: 金幣+5 2017-05-10 17:06:58
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這個不大對啊。一般用來外延的藍寶石，表面的粗糙度是0.1nm水平的，表面比硅片的質(zhì)量還好才對。 如果說你用AFM測藍寶石是對的，那么你那個測硅片的噪聲就很奇怪了。 我們自己測過很多的硅片，經(jīng)常把片子送給我們配合的實驗室?guī)臀覀儥z測，0.3nm到0.1nm的Ra經(jīng)常出現(xiàn)，不應該有你這種現(xiàn)象的。 你買的片子的具體指標是什么？哪個工廠生產(chǎn)的？你可以短信發(fā)給我看看。 |
2樓2017-04-28 15:37:38
3樓2017-05-04 21:14:14
yswyx
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4樓2017-05-11 11:40:00
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