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liangjinjue金蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
關(guān)于PVD鍍膜問(wèn)題 已有1人參與
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| 本人在這做CrSiAlN四元復(fù)合薄膜，但開(kāi)啟了偏壓后，單晶硅基體表面被刻蝕了一樣，不開(kāi)偏壓的情況下就沒(méi)有出現(xiàn)這樣的情況，試了很多種開(kāi)偏壓的情況下還是 會(huì)被刻蝕。有遇到過(guò)這樣的問(wèn)題的大神嗎？求指教 |
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把前面的刻蝕時(shí)間縮短，或者，是不是應(yīng)力太大，導(dǎo)致涂層微脫落造成的假象，你可以用SEM觀察一下表面 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
8樓2017-06-22 16:07:04
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2樓2017-06-22 15:27:37
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3樓2017-06-22 15:38:58
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4樓2017-06-22 15:40:21
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5樓2017-06-22 15:45:43
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6樓2017-06-22 15:51:58
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7樓2017-06-22 16:00:27
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9樓2017-06-22 16:54:26
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10樓2017-06-22 16:55:03
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