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liangjinjue金蟲 (小有名氣)
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[求助]
關(guān)于PVD鍍膜問題 已有1人參與
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| 本人在這做CrSiAlN四元復(fù)合薄膜，但開啟了偏壓后，單晶硅基體表面被刻蝕了一樣，不開偏壓的情況下就沒有出現(xiàn)這樣的情況，試了很多種開偏壓的情況下還是 會(huì)被刻蝕。有遇到過這樣的問題的大神嗎？求指教 |
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liangjinjue
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9樓2017-06-22 16:54:26
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2樓2017-06-22 15:27:37
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3樓2017-06-22 15:38:58
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4樓2017-06-22 15:40:21
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