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計算光學(xué)性質(zhì)軟件OpticCal介紹
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OpticCal程序以Nanodcal程序為基礎(chǔ)，主要適用于半導(dǎo)體和絕緣體的光學(xué)性質(zhì)計算。一般地，在金屬介質(zhì)中，材料的光學(xué)性質(zhì)主要由載流子在能帶中的帶內(nèi)躍遷所決定；而在半導(dǎo)體和絕緣體中，材料的光學(xué)性質(zhì)主要由帶間躍遷所決定。在OpticCal 程序中，主要考慮后一種情形。在理論上，先通過橫向微擾場作用下的線性響應(yīng)，得到均勻介質(zhì)中的橫向介電常數(shù)公式，然后再用長波近似來簡化公式。實際的計算過程為： 首先，利用公式計算相對介電常數(shù)。材料的相對介電常數(shù)，指在同一電容器中用該材料作為電介質(zhì)與該電容器在真空中的電容的比值，由于其依賴于電磁場的頻率，所以通常也叫作介電函數(shù)。在集成電路技術(shù)中，低介電常數(shù)技術(shù)常用于降低互連金屬層間的電容效應(yīng)，而高介電常數(shù)技術(shù)主要用于降低 MOS 晶體管中柵極漏電流。 其次，基于介電常數(shù)，可以計算材料的各種光學(xué)性質(zhì)，如：折射率、消光系數(shù)、吸收系數(shù)、磁化率等。通過這些光學(xué)性質(zhì)可以研究光在材料中的傳播，以及能量損耗等問題。 更多內(nèi)容可以加鴻之微公眾號了解。 |
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