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計(jì)算光學(xué)性質(zhì)軟件OpticCal介紹
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OpticCal程序以Nanodcal程序?yàn)榛A(chǔ),主要適用于半導(dǎo)體和絕緣體的光學(xué)性質(zhì)計(jì)算。一般地,在金屬介質(zhì)中,材料的光學(xué)性質(zhì)主要由載流子在能帶中的帶內(nèi)躍遷所決定;而在半導(dǎo)體和絕緣體中,材料的光學(xué)性質(zhì)主要由帶間躍遷所決定。在OpticCal 程序中,主要考慮后一種情形。在理論上,先通過橫向微擾場作用下的線性響應(yīng),得到均勻介質(zhì)中的橫向介電常數(shù)公式,然后再用長波近似來簡化公式。實(shí)際的計(jì)算過程為: 首先,利用公式計(jì)算相對介電常數(shù)。材料的相對介電常數(shù),指在同一電容器中用該材料作為電介質(zhì)與該電容器在真空中的電容的比值,由于其依賴于電磁場的頻率,所以通常也叫作介電函數(shù)。在集成電路技術(shù)中,低介電常數(shù)技術(shù)常用于降低互連金屬層間的電容效應(yīng),而高介電常數(shù)技術(shù)主要用于降低 MOS 晶體管中柵極漏電流。 其次,基于介電常數(shù),可以計(jì)算材料的各種光學(xué)性質(zhì),如:折射率、消光系數(shù)、吸收系數(shù)、磁化率等。通過這些光學(xué)性質(zhì)可以研究光在材料中的傳播,以及能量損耗等問題。 更多內(nèi)容可以加鴻之微公眾號了解。 |
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