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寧蘭銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
臺階儀主要技術(shù)參數(shù) 已有1人參與
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| 想問一下有木有大神采購過臺階儀，目前臺階儀的主要技術(shù)參數(shù)主要考察那些？比如縱向精度之類的？謝謝大家，越全越好。 |
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z向分辨率，探針角度和大小，可測樣品尺寸范圍，防震臺有無，傳感器類型是直動還是杠桿，是否有直線度精度保證，最終還要看你自己的實際應(yīng)用，是個哪個型號或者品牌的臺階儀，這里需要分清楚兩個概念：垂直分辨率和高度分辨率 1.高度分辨率，指的是高度方向上最小電勢差代表的高度，比如某個型號最小量程6.5um，16位AD轉(zhuǎn)換，代表垂直分辨率6.5um/2的16次方=0.1nm即為垂直分辨率，這個值不代表最薄可測量膜厚，這個垂直分辨率和你掃描長度掃描時間無任何關(guān)系。 2.水平方向上，你問到的精度代表兩個采樣點之間的距離，比如dektak xt采樣頻率300Hz，即每秒鐘采集300個點，100um長度，10s，共3000點，兩點間隔100/3000=0.033um，這代表的是水平采樣點間隔，不代表2um探針能深入到這么窄的槽里，2um探針能伸進(jìn)多窄的槽是其幾何形狀限定的，時間影響點數(shù)，這兩個概念沒任何關(guān)系 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
2樓2018-07-04 06:57:12
3樓2018-07-04 11:11:35
4樓2018-07-10 00:05:26
5樓2018-07-15 19:46:55
庭前流水
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 130.6
- 散金: 30
- 帖子: 11
- 在線: 11.9小時
- 蟲號: 6139167
- 注冊: 2017-03-25
- 性別: GG
- 專業(yè): 無機(jī)非金屬類光電信息與功
6樓2018-08-29 22:39:35
7樓2020-05-17 14:38:19
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