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寧蘭銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
臺(tái)階儀主要技術(shù)參數(shù) 已有1人參與
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| 想問一下有木有大神采購過臺(tái)階儀，目前臺(tái)階儀的主要技術(shù)參數(shù)主要考察那些？比如縱向精度之類的？謝謝大家，越全越好。 |
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已經(jīng)有0人回復(fù)
4樓2018-07-10 00:05:26
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z向分辨率，探針角度和大小，可測樣品尺寸范圍，防震臺(tái)有無，傳感器類型是直動(dòng)還是杠桿，是否有直線度精度保證，最終還要看你自己的實(shí)際應(yīng)用，是個(gè)哪個(gè)型號或者品牌的臺(tái)階儀，這里需要分清楚兩個(gè)概念：垂直分辨率和高度分辨率 1.高度分辨率，指的是高度方向上最小電勢差代表的高度，比如某個(gè)型號最小量程6.5um，16位AD轉(zhuǎn)換，代表垂直分辨率6.5um/2的16次方=0.1nm即為垂直分辨率，這個(gè)值不代表最薄可測量膜厚，這個(gè)垂直分辨率和你掃描長度掃描時(shí)間無任何關(guān)系。 2.水平方向上，你問到的精度代表兩個(gè)采樣點(diǎn)之間的距離，比如dektak xt采樣頻率300Hz，即每秒鐘采集300個(gè)點(diǎn)，100um長度，10s，共3000點(diǎn)，兩點(diǎn)間隔100/3000=0.033um，這代表的是水平采樣點(diǎn)間隔，不代表2um探針能深入到這么窄的槽里，2um探針能伸進(jìn)多窄的槽是其幾何形狀限定的，時(shí)間影響點(diǎn)數(shù)，這兩個(gè)概念沒任何關(guān)系 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
2樓2018-07-04 06:57:12
3樓2018-07-04 11:11:35
5樓2018-07-15 19:46:55
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