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9390鵬鐵蟲 (初入文壇)
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[求助]
請(qǐng)教各位使用臺(tái)階儀和橢偏儀測量薄膜厚度的問題 已有4人參與
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請(qǐng)教各位，我在硅片表面鍍膜。如果用臺(tái)階儀測量薄膜厚度，都有什么方法制造好的臺(tái)階？ 另外，薄膜只知道元素，具體的成分不確定，也不是一種，這種可以用橢偏儀測量厚度嗎？ 十分感謝各位！ |
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yswyx 
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
9390鵬: 金幣+5, ★★★★★最佳答案 2018-07-27 18:27:44
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
9390鵬: 金幣+5, ★★★★★最佳答案 2018-07-27 18:27:44
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只要不是完全不透光的，就用橢偏測。先用橢偏測出n，k系數(shù)，再擬合計(jì)算出厚度。 至于臺(tái)階，樓上說的金屬絲也好，膠帶也好，都可以，只要能簡單遮擋的都行。雖然做出的臺(tái)階會(huì)是一個(gè)斜坡，但是臺(tái)階儀會(huì)矯正的。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
7樓2018-07-26 10:48:47
強(qiáng)哥哥哥
新蟲 (著名寫手)
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2樓2018-07-25 15:08:41
伽魯特
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隨便在邊緣搭一根干凈的金屬絲，鍍的時(shí)候就遮擋住了，能測出雙臺(tái)階。清潔金屬絲是為了避免讓金屬絲影響臺(tái)階底部，否則可能底部測出來凹凸不平 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
3樓2018-07-25 15:26:01
9390鵬
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4樓2018-07-25 20:47:31
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