 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 查看: 2058 | 回復(fù): 17 | ||||||
| 當(dāng)前主題已經(jīng)存檔。 | ||||||
| 【有獎交流】積極回復(fù)本帖子，參與交流，就有機會分得作者 yuh1984 的 3 個金幣 | ||||||
yuh1984木蟲 (著名寫手)
|
[交流]
【求助】磁控濺射鍍膜的影響因素！
|
|||||
|
請教大蝦關(guān)于磁控濺射鍍膜的影響因素！例如：生長功率，生長壓強，本體壓強，靶基距。究竟這些通過影響什么來影響薄膜生長的。還有就是靶材材料究竟是以何種形式打到薄膜上的，是原子還是離子團還是材料不同結(jié)果不一樣。 我在百度查過，但是感覺不是很詳細(xì)。 請大蝦們以親身實驗告訴小弟，或者給點資料也行。 |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 鐵電材料 | 薄膜材料的表征 | 薄膜材料和器件制備 |
» 猜你喜歡
323求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
一志愿北京化工大學(xué) 070300 學(xué)碩 336分 求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
352求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
一志愿東華大學(xué)化學(xué)070300，求調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
277材料科學(xué)與工程080500求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
317求調(diào)劑
已經(jīng)有18人回復(fù)
-
293求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
280分求調(diào)劑 一志愿085802
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
0854電子信息求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
263求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
» 本主題相關(guān)商家推薦: (我也要在這里推廣)
ufoer
榮譽版主 (著名寫手)
PNNL- new life
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 貴賓: 1.76
- 金幣: 1202.8
- 散金: 5824
- 紅花: 8
- 帖子: 2044
- 在線: 53.7小時
- 蟲號: 520591
- 注冊: 2008-03-07
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
- 管轄: 無機非金屬
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
zt970831(金幣+3,VIP+0):感謝您的交流 4-16 23:15
yuh1984(金幣+5,VIP+0):非常感謝！ 4-17 08:26
zt970831(金幣+3,VIP+0):感謝您的交流 4-16 23:15
yuh1984(金幣+5,VIP+0):非常感謝！ 4-17 08:26
|
這個影響很大了。濺射功率、濺射氣壓、靶基距和背地真空度基本上都是通過改變沉積速率來影響薄膜的結(jié)構(gòu)，進而影響性能的。 簡單來說，濺射氣壓對沉積速率的影響是非單調(diào)的，即存在著一個極大值。氣壓過大（散射多）或過小（電離少）都會造成沉積速率的下降。而濺射功率、靶基距和背地真空度的影響則是單調(diào)的。即功率越大、靶基距越小、背地真空度越高，則速率越大。 但沉積速率對薄膜的結(jié)構(gòu)和性能的影響則也是非單調(diào)的。過慢（疏松）或過快（缺陷）都會使薄膜的結(jié)構(gòu)變差，進而影響性能。 所以，做磁控濺射，一定要做大量的實驗，從而找出最佳的沉積條件。  |
2樓2009-04-16 23:09:59
ufoer
榮譽版主 (著名寫手)
PNNL- new life
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 貴賓: 1.76
- 金幣: 1202.8
- 散金: 5824
- 紅花: 8
- 帖子: 2044
- 在線: 53.7小時
- 蟲號: 520591
- 注冊: 2008-03-07
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
- 管轄: 無機非金屬
3樓2009-04-16 23:13:03
4樓2009-04-17 00:42:40
5樓2009-04-17 09:48:35
ufoer
榮譽版主 (著名寫手)
PNNL- new life
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 貴賓: 1.76
- 金幣: 1202.8
- 散金: 5824
- 紅花: 8
- 帖子: 2044
- 在線: 53.7小時
- 蟲號: 520591
- 注冊: 2008-03-07
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
- 管轄: 無機非金屬
6樓2009-04-17 10:58:01
li_jing_kui
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 2052.3
- 散金: 49
- 紅花: 4
- 帖子: 647
- 在線: 155.2小時
- 蟲號: 330307
- 注冊: 2007-03-24
- 性別: GG
- 專業(yè): 木材物理學(xué)
7樓2009-04-17 14:04:32
yuh1984
木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 3894.1
- 散金: 480
- 帖子: 1042
- 在線: 141.8小時
- 蟲號: 642991
- 注冊: 2008-11-01
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
8樓2009-04-17 20:36:22
rdwjf
捐助貴賓 (知名作家)
- 應(yīng)助: 4 (幼兒園)
- 金幣: 12813.6
- 散金: 3112
- 紅花: 99
- 沙發(fā): 1
- 帖子: 6710
- 在線: 2106.4小時
- 蟲號: 267253
- 注冊: 2006-07-22
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
9樓2009-07-27 20:12:01
zdliang83
木蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 2127.5
- 帖子: 258
- 在線: 2.2小時
- 蟲號: 783818
- 注冊: 2009-05-31
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
10樓2009-07-28 09:29:11
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 yuh1984 的主題更新
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 311求調(diào)劑 +6 | 冬十三 2026-03-18 | 6/300 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 一志愿武理材料工程348求調(diào)劑 +5 | ￣^￣゜汗 2026-03-19 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 305分求調(diào)劑（食品工程） +4 | Sxy112 2026-03-21 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 318求調(diào)劑 +4 | plum李子 2026-03-21 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 297求調(diào)劑 +11 | 戲精丹丹丹 2026-03-17 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 311求調(diào)劑 +3 | 勇敢的小吳 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 296求調(diào)劑 +4 | www_q 2026-03-20 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 306求0703調(diào)劑一志愿華中師范 +5 | 紙魚ly 2026-03-21 | 5/250 |
|
|
[考研] 266求調(diào)劑 +3 | 哇呼哼呼哼 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 085601調(diào)劑 358分 +3 | zzzzggh 2026-03-20 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 初始318分求調(diào)劑（有工作經(jīng)驗） +3 | 1911236844 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | Ma_xt 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 294求調(diào)劑材料與化工專碩 +15 | 陌の森林 2026-03-18 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 308求調(diào)劑 +3 | 阿姐阿姐家啊 2026-03-18 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 288求調(diào)劑 +16 | 于海海海海 2026-03-19 | 16/800 |
|
|
|
[考研] 350求調(diào)劑 +5 | weudhdk 2026-03-19 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 086500 325 求調(diào)劑 +3 | 領(lǐng)帶小熊 2026-03-19 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 085600材料與化工求調(diào)劑 +6 | 緒幸與子 2026-03-17 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 085601求調(diào)劑 +4 | Du.11 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +3 | 淇ya_~ 2026-03-17 | 5/250 |
|