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電子束蒸鍍ZnO 已有2人參與
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用電子束蒸鍍ZnO薄膜,靶材是1-3mm的氧化鋅,襯底是SiO2,顯示是有速率的,0.8A/s,薄膜參數(shù)是100,設(shè)置是200nm的厚度,靶材也上打出了洞,但是最后襯底上觀察不到ZnO,臺階儀探針測沒觀察到分界面,在一個位置測量臺階90nm的臺階,但是換一個位置又測不出來了,有用電子束蒸發(fā)鍍ZnO薄膜的嗎 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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