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電子束蒸鍍ZnO 已有2人參與
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用電子束蒸鍍ZnO薄膜，靶材是1-3mm的氧化鋅，襯底是SiO2，顯示是有速率的，0.8A/s，薄膜參數(shù)是100，設(shè)置是200nm的厚度，靶材也上打出了洞，但是最后襯底上觀察不到ZnO，臺(tái)階儀探針測(cè)沒(méi)觀察到分界面，在一個(gè)位置測(cè)量臺(tái)階90nm的臺(tái)階，但是換一個(gè)位置又測(cè)不出來(lái)了，有用電子束蒸發(fā)鍍ZnO薄膜的嗎 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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3樓2018-11-15 10:58:59
你猜我信不信
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
2樓2018-11-14 17:05:43
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