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蘭and大銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
光刻膠問(wèn)題
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請(qǐng)問(wèn)，我要用剝離工藝在硅基片上做一層厚度為2微米，半徑為300微米的金屬膜，周圍是硬化的光刻膠AZ5214，中間是上面所說(shuō)大小的孔洞，之后用磁控濺射做金屬薄膜，這樣的話邊緣部分的光刻膠會(huì)不會(huì)因?yàn)榭锥催^(guò)大而變形？之后影響金屬膜的的邊緣質(zhì)量？因?yàn)闆](méi)見(jiàn)過(guò)有做這種厚度和面積比這么小的器件的相關(guān)文獻(xiàn)，請(qǐng)大神指導(dǎo) @hwweven 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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bobo201266
金蟲 (正式寫手)
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2樓2019-11-09 18:21:12
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