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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 磁控濺射氧化鎵
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[求助]
磁控濺射氧化鎵 已有1人參與
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求助各位大神，做氧化鎵薄膜一直鍍不上去，濺射過程中有起輝現(xiàn)象，輝光是那種偏白的，功率在120w左右，工作氣壓2pa（調(diào)低后輝光會熄滅，已經(jīng)是那種很慢的調(diào)了），襯底試過玻璃、硅、鈦，氬氣60氧氣5，濺射時間2h。嘗試過很多參數(shù)，鍍完后肉眼觀察不出來明顯的膜層，然后也退火做過xrd，也是沒有氧化鎵的峰。準(zhǔn)備做一次掃描看一看，有沒有懂的大神知道哪出了問題 @hwweven 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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2樓2024-09-18 22:04:13
Angel01
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3樓2024-09-22 07:53:47
hubuhurui
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
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參考一下文獻(xiàn)的條件，再自己摸索一下條件應(yīng)該就沒問題了應(yīng)該，我是用pld法生長，按照文章里的條件直接就能沉積出氧化鎵薄膜。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
4樓2024-09-25 13:36:03
小柯基？
新蟲 (小有名氣)
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5樓2024-11-25 14:35:38
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