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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 磁控濺射氧化鎵
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磁控濺射氧化鎵 已有1人參與
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求助各位大神，做氧化鎵薄膜一直鍍不上去，濺射過程中有起輝現(xiàn)象，輝光是那種偏白的，功率在120w左右，工作氣壓2pa（調低后輝光會熄滅，已經是那種很慢的調了），襯底試過玻璃、硅、鈦，氬氣60氧氣5，濺射時間2h。嘗試過很多參數，鍍完后肉眼觀察不出來明顯的膜層，然后也退火做過xrd，也是沒有氧化鎵的峰。準備做一次掃描看一看，有沒有懂的大神知道哪出了問題 @hwweven 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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hubuhurui
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